REM Signale in Farbe
Beim Rastern einer Probe werden – abhängig von der Topographie und der materiellen Zusammensetzung – Sekundärelektronen (SE) und Rückstreuelektronen (BSE) erzeugt. Diese können simultan von verschiedenen Detektoren aufgefangen und als Mischbild dargestellt werden. Je nach Position der Probe erscheinen die die Strukturen unterschiedlich "beleuchtet". Unterschiedliche Signale können in verschiedene Farbkanälen zu einem plastischen "Farbbild" zusammengesetzt werden, das dann über die Farbgebung unterschiedliche Information beinhaltet.